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大型仪器设备展示
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原子层沉积系统
2023-09-20 11:53      审核人:

设备名称:原子层沉积系统

设备型号:SI ALD型

设备负责人:胡凯

设备简介:原子层沉积系统选型为德国SENTECH公司生产的SI ALD型。该设备采用加热(T-ALD)或等离子增强(PEALD)方式、通过周期性的原子层级化学反应、实现沉积镀膜,可用于沉积几纳米厚的薄膜,有出色的均匀性和优异的3D结构覆盖一致性。仪器配备能充分满足相关科研与教学需求。