_jsq_(1040,'/tzggcentent.jsp',1585,1940856777) 
function _nl_ys_check(){ var keyword = document.getElementById('showkeycode249966').value; if(keyword==null||keyword==""){ alert("请输入你要检索的内容!"); return false; } if(window.toFF==1) { document.getElementById("lucenenewssearchkey249966").value = Simplized(keyword ); }else { document.getElementById("lucenenewssearchkey249966").value = keyword; } var base64 = new Base64(); document.getElementById("lucenenewssearchkey249966").value = base64.encode(document.getElementById("lucenenewssearchkey249966").value); new VsbFormFunc().disableAutoEnable(document.getElementById("showkeycode249966")); return true; }
大型仪器设备展示
大型仪器设备展示
电子束曝光系统
2023-09-25 11:53      审核人:

设备名称:电子束曝光系统

设备型号:Raith-e-LINE plus

负责人:张楷亮

设备简介:eLINE Plus是一款高性能电子束曝光(EBL)系统,主要用微纳电子器件图形曝光,它能同时应用多种纳米加工技术,使用包括高精度激光干涉样品台、高速高精度图形发生器、图形识别自动套刻等先进的电子束曝光技术,能够满足超高分辨率和大面积图形的微纳加工要求,可用于亚微米图像的电子束直写,可用于4inch以下样品的图形曝光。