_jsq_(1040,'/tzggcentent.jsp',1592,1940856777) 
function _nl_ys_check(){ var keyword = document.getElementById('showkeycode249966').value; if(keyword==null||keyword==""){ alert("请输入你要检索的内容!"); return false; } if(window.toFF==1) { document.getElementById("lucenenewssearchkey249966").value = Simplized(keyword ); }else { document.getElementById("lucenenewssearchkey249966").value = keyword; } var base64 = new Base64(); document.getElementById("lucenenewssearchkey249966").value = base64.encode(document.getElementById("lucenenewssearchkey249966").value); new VsbFormFunc().disableAutoEnable(document.getElementById("showkeycode249966")); return true; }
大型仪器设备展示
大型仪器设备展示
多功能等离子增强化学气相沉积系统
2023-09-25 11:53      审核人:

设备名称:多功能等离子增强化学气相沉积系统

设备型号:PECVD400型

负责人:李微

设备简介:设备主要由真空和压力控制系统、淀积系统、气体及流量控制、系统安全保护系等部分组成。采用等离子体增强化学气相沉积技术,根据不同的研究内容,可以在光学玻璃、硅片、石英、不锈钢片等很多不同衬底材料上,沉积薄膜,达到研究目的。