_jsq_(1040,'/tzggcentent.jsp',1593,1940856777) 
function _nl_ys_check(){ var keyword = document.getElementById('showkeycode249966').value; if(keyword==null||keyword==""){ alert("请输入你要检索的内容!"); return false; } if(window.toFF==1) { document.getElementById("lucenenewssearchkey249966").value = Simplized(keyword ); }else { document.getElementById("lucenenewssearchkey249966").value = keyword; } var base64 = new Base64(); document.getElementById("lucenenewssearchkey249966").value = base64.encode(document.getElementById("lucenenewssearchkey249966").value); new VsbFormFunc().disableAutoEnable(document.getElementById("showkeycode249966")); return true; }
大型仪器设备展示
大型仪器设备展示
多功能微波等离子化学气相沉积系统
2023-09-25 11:53      审核人:

设备名称:多功能微波等离子化学气相沉积系统

设备型号:MPCVD-I

负责人:李明吉

设备简介:多功能微波等离子化学气相沉积系统由微波管产生2450Mhz微波经波导系统和石英窗平行于磁场注入微波ECR腔室;微波在ECR共振层加热电子,电离充入真空室中的工作气体产生高密度等离子体。等离子体沿着发散场磁力线扩散至下游处理室,在基片表面沉积成所需薄膜。