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大型仪器设备展示
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热丝CVD和掺杂金刚石沉积系统
2023-09-25 11:53      审核人:

设备名称:热丝CVD和掺杂金刚石沉积系统

设备型号:JDCY-20-500,JDCY-1000-50

负责人:李明吉

设备简介:热丝CVD和掺杂金刚石沉积系统的基本原理是在灯丝两端施加电流,点亮灯丝,使灯丝周围形成高温环境。氢气、碳源(甲烷等)等的混合气体在高温环境下发生分解、脱氢等化学反应,形成了具有化学活性的基团,即原子态氢和甲基基团等。活性基团在适当温度的衬底表面发生反应,进行沉积。石墨碳被原子氢刻蚀后成为碳氢化合物活性基团继续参与气相反应。主要用于制备石墨烯/金刚石薄膜。