性别

男

学历学位

硕士

职称

高级工程师

导师类型

硕导

联系电话

15822693603

所属学院

集成电路科学与工程学院

Email

sunchenguang@zhlxsemicon.com

人才称号

2021年“太湖人才”核心成员

2021年宜兴市“陶都英才”

2020年天津市“科技领军企业企业家”

2020年天津市五一劳动奖章

2018年天津市“131”创新型人才团队带头人

2017年天津市新型企业家

2016年天津市“131”创新型人才培养工程第一层次人选

学术兼职

招生专业

集成电路工程

研究方向

半导体硅材料，硅基氮化镓材料

代表性学术成果：

科技奖包括：

①　2021年度宜兴市“陶都英才”-科技创新人才项目；

②　2021年“太湖人才计划”创新领军人才团队；

③　2020年9月获得天津市科技领军企业和领军培育企业企业家综合贡献奖；

④　2018.12.21 获得“中环电子信息集团科学技术奖”二等奖：《8英寸IGBT用和集成电路用硅抛光片研发项目》；  

⑤　2017.2.28获得“天津市科学技术进步奖”二等奖：《IGBT用6-8英寸区熔硅单晶》；     

⑥　2014.12获得“天津市专利优秀奖”：《高平整度区熔硅抛光片的抛光工艺》；

⑦　2014.1.21获得天津市技术发明奖三等奖

代表科研项目包括：

①　2020-2023年“天津市科学技术局科技领军企业”：《8英寸中子嬗变高阻IGBT区熔硅抛光片》

②　2020-2022年“江苏省战略性新兴产业发展项目”：《集成电路用12英寸半导体硅抛光片项目》

③　2019-2022年“天津市科技计划项目”：《12英寸半导体硅片研发》

④　2016-2018年“国家工业强基项目”：《电力电子器件用硅单晶圆片》

⑤　2015-2019年“天津市高新技术产业化项目”：《CFZ区熔单晶硅及金刚石线切片》

⑥　2015-2017年“天津市科技计划项目”：《功率器件用区熔硅单晶抛光片的研发》

⑦　2012-2017年“天津市科技计划项目”：《IGBT用区熔硅单晶的研发》

⑧　2011-2017年“国家02专项”：《区熔硅单晶产业化技术与国产设备研制》

科研论文包括：

①　孙晨光，测量系统分析理论与方法的研究，ISSN 1671-6787，2020.07.01

②　孙晨光，直拉单晶硅中体微缺陷的轴向分布探究，ISSN 1671-6787，2020.07.01

③　孙晨光，Comparison Between Different Ways in Making Silicon Dioxide Layer on Silicon Wafers，MATEC Web of Conferences，DOI:10.1051，2017.01.01

专利包括：

1　 ZL2021222313278 一种防止高频线圈短路装置

2   ZL202120023015.5 一种大尺寸晶圆片片篮盖体

3 　ZL202120023039.0 一种晶圆片检测上载台及与该上载台相配合的上载装置

4 　ZL202120022057.7 一种半导体晶圆片花篮

5 　ZL202120022090 一种基于复杂环境的传输装置

6 　ZL202120047014.4 一种用于测试大直径硅片背面金属含量的新型机械手

7 　ZL202120280620.0 一种大直径硅单晶降温冷却及运输设备

8　 ZL202120275975.0 一种在线切料座上晶棒固化的料框式自动化仓储设备

9 　ZL202120045464.X 一种用于测试大直径硅片背面金属含量的机械手

10　ZL202120548691.4 一种边缘抛光设备优化结构

11  ZL2021206393245 一种新型区熔单晶炉内轴及夹持结构

12⑫ZL2021211701195 一种抛光液自动配液装置

13  ZL2021217474091 一种硅片脱料清洗机上料装置

14⑭ZL2021217473775 一种硅片下料装置

15⑮ZL202120022060.9 一种晶圆片检测安装座及与该安装座相配合的片篮

16⑯ZL202120028419.3 一种晶圆片定位装置

17⑰ZL202120028264.3 一种晶圆片腐蚀装置

18⑱ZL202120022069.X 一种晶圆片片篮

19⑲ZL202120023014.0 一种晶圆片承载装置

20⑳ZL202022275672.7 一种硅片去胶专用辅助工具

21　ZL202020063126.4 一种自动调平AGV装置

22　ZL202022275948.1 一种硅片平坦度测试设备机械手

23　ZL202022883128.0 一种半导体硅片抛光用下载暂存机构

24　ZL202022883129.5 一种硅片抛光用载暂放置存系统

25　ZL202022883127.6 一种半导体硅片抛光用上载暂存机构

26　ZL202022530873.7 一种晶圆片寿命测试用检测装置

27　ZL202022878514.0 一种硅片抛光后用中转装置

28　ZL202022878530.X 一种硅片抛光前用中转装置

29　ZL202022530834.7 一种硅片氧化装置

30　ZL202020063115.6 一种提高边抛大直径硅片表面洁净度的清洗系统

31　ZL202022531984.X 一种双面抛光机湿式硅片储存器

32　ZL202020175494.8 一种基于Wafer ID Reader的自动读码装置

33　ZL202021052012.6 一种硅片边抛补液系统

34　ZL202022787561.4 一种区熔晶体检验设备

35　ZL202020188596.3 一种半导体抛光片清洗设备

36　ZL202020190678.1 一种半导体硅圆片清洗用分离装置

37　ZL202020802118.7 一种硅片片篮

38　ZL202021645459.4 一种晶圆片研磨承载装置

39　ZL202022275977.8 一种磨后清洗机中抽测硅片外观的装置

40　ZL202022878530.X 一种硅片抛光前用中转装置

41　ZL202022883129.5 一种硅片抛光用载暂放置存系统

42　ZL202022883127.6 一种半导体硅片抛光用上载暂存机构

43　ZL202022531984.X 一种双面抛光机湿式硅片储存器

44　ZL202022883128.0 一种半导体硅片抛光用下载暂存机构

45　ZL202020969129.4 一种双抛机载具清洗设备

46　ZL202020968135.8 一种半导体硅片双面抛光用载具

47　ZL202020969094.4 一种双抛机载具清洗用固定装置

48　ZL202022993143.0 一种适用于12寸半导体晶棒粘接缓存台装置

49　ZL202020774034.7 一种硅片存放装置

50　ZL202020774538.9 一种硅片片篮及硅片暂存系统

51　ZL202020774475.7 一种半导体硅片清洗喷淋装置

52　ZL202020807518.7 一种抛光机所用的新型抛光头及其治具

53　ZL202022947433.1 一种基于Fz法的楔形滑落晶棒夹持装置

54　ZL202020178121.6 一种硅片抛光机所用的陶瓷盘上载车

55　ZL202020466634.7 便携式手持电动理片器

56　ZL202020774497.3 一种半导体硅片表面清洗机构

57　ZL202020800446.3 一种新型硅片清洗机分体式滚轴

58　ZL202021645434.4 一种半导体晶圆片抛光设备

59　ZL202022550261.4 一种晶圆翻面倒片装置

60　ZL202021644203.1 一种晶圆片抛光用上抛机构

61　ZL202021644211.6 一种双面抛光中用于放置晶圆片的放置机构

62　ZL202022275948.1 一种硅片平坦度测试设备机械手

63　ZL202022787561.4 一种区熔晶体检验设备

64　ZL202022787508.4 一种适用于12寸半导体晶圆双面抛光设备的EFAM控制装置

65　ZL202022530874.1 一种晶圆片寿命测试设备

66　ZL202022787508.4 一种适用于12寸半导体晶圆双面抛光设备的EFAM控制装置

67　ZL202022530873.7 一种晶圆片寿命测试用检测装置

68　ZL02022531985.4 一种硅片寿命测试时的氧化和检测装置

69　ZL202022530834.7 一种硅片氧化装置

70　ZL202022550261.4 一种晶圆翻面倒片装置

71　ZL202020177844.4 一种自动寻参读码设备

72　ZL201922001707.5 一种单晶硅片抛光机用清洗刷子

73　ZL201922001701.8 一种大尺寸硅片磨削用夹持装置

74　ZL201921315073.4 一种提高区熔单晶均匀性的气掺线圈

75　ZL201922218493.7 一种基于高质量无规则晶棒的搬运系统

76　ZL201922383458.0 一种清洗大直径硅片片盒用托架

77　ZL201922383458.0 一种大直径硅圆片的去胶设备

78　ZL201922001709.4 一种大尺寸硅片碱腐清洗装置

79　ZL201921459652.6 一种抛光液回收装置

80　ZL201921459628.2 一种抛光液配置装置

81　ZL201922000782.X 一种硅片抛光垫清洗装置

82　ZL201922213221.8 一种基于无蜡抛光工艺的半自动下片装置

83　ZL201921315555.X 一种便于拆装区熔线圈的辅助装置

84　ZL201821827678.7 一种晶体自动检验设备

85　ZL201821828510.8 一种硅片自动插片设备

86　ZL201822010405.X 一种六轴机器人辅助目检硅片装置

87　ZL201821039852.1 一种钢丝可调节式单晶夹持装置

88　ZL201821828583.7 一种磨片清洗机自动上料装置

89　ZL201821827686.1 一种片盒自动包装设备

90　ZL201821603731.5 一种区熔单晶硅棒的电阻率测试台

91　ZL201821039817.X 一种优化的区熔硅单晶的预热装置

92　ZL201821039886.0 一种区熔炉的过压保护装置

93　ZL201821039052.X 一种区熔炉线圈对中装置

94　ZL201821079551.1 一种区熔单晶炉吊装多晶料装置

95　ZL201821830659.X 一种适用于一级洁净室的片盒清洗机自动传输装置

96　ZL201821827668.3 一种陶瓷盘转运设备

97　ZL201820784285.6 一种区熔炉大盘防护装置

98　ZL201820785276.9 一种晶体防护装置

99　ZL201820794000.7 区熔单晶小头切除装置及提高区熔单晶小头切除效率的装置

100　ZL201720533586.7 一种多线切割机二次切割硅片用工装

101　ZL201420694500.5 一种多规格硅片检验盒

102　ZL201310659773.6 硅片腐前清洗机用清洗框

103　ZL201210534575.2 一种可获得高抛光速率的单晶硅晶圆片抛光工艺

104　ZL201210508373.0 一种采用挤压方式去除IGBT用硅晶圆抛光片边缘氧化膜的方法

105　ZL201110420559.6 IGBT用区熔单晶硅双面抛光片的有蜡贴片工艺

106　ZL201010581248.3 超薄区熔硅抛光片的无蜡抛光工艺

107　ZL201010249539.2 高平整度区熔硅抛光片的抛光工艺